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EFEM是半导体工艺设备的标准组件，是物料搬运系统和各类制程设备高效衔接的重要桥梁。新松EFEM拥有完全自主知识产权，集成公司自主研发的晶圆装载系统、大气机械手及晶圆对准装置，可为客户提供种类丰富的定制化EFEM产品。新松EFEM采用成熟的标准化、模块化组件设计，产品质量稳定可靠，不断缩短交货周期，广泛应用于多个知名半导体制造工厂。

产品优势

全自研解决方案

大气手、Aligner、SMIF，Loadport等核心部件均自主研发

尺寸多样性

有包括TSS系列的产品，有1-4工位多种产品

符合SEMI标准

已通过SEMI S2 F47 认证

兼容性强

可根据用户的实际需求进行非标定制

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

Loadport数量

1 / 2 / 3 / 4

机械手重复精度

≤ ±0.1mm

晶圆传输量WPH

≥200

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